フィードバックによる圧電アクチュエータの過渡応答制御の検討
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概要
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本研究では、従来のアクチュエータに変位センサを内蔵した形状を提案し、フィードバック回路による過渡応答制御の可能性についての基礎検討を行った。アクチュエータは、駆動電極に階段状電圧を印加した場合、2つの共振モード(基本モード:278Hz、2次モード:1720Hzリンギングが渦渡応答特性に生じていた。それらを抑圧する手法を検討するため、まず駆動電極、センサ電極の入カインピーダンス特性から、基本、2次両モードを含めた等価回路を求めた。SPICEによるアクチュエータの過渡応答の解析結果と、測定との比較を行い、等価回路を用いたアクチュエータの動作回路解析が妥当であることを確認した。振動抑圧に開して、電極形状による2次モード抑圧の可能性を検討し、次に、理想フィードバック回路による1次モード抑圧の可能性について確認できた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-12-19
著者
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