電気機械結合係数による新H形LiTaO_3圧電ジャイロの感度と漏れ出力の解析
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概要
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本研究は、圧電ジャイロの駆動及び検出電極と直交する2つの振動モードとの間の電気機械結合係数 (k^2) に対して、有限要素法による数値解析結果とインピーダンス特性の実験データとの比較を行ったものである。従来の音さ形LiTaO_3圧電ジャイロは、左右アームの電極が非対称なので、駆動電極とf_x mode、検出電極とf_z modeとの不要なk^2が存在することを確認した。それ故、筆者らは、駆動は音さ形振動子構成、検出はH形振動子構成とから成る新H形ジャイロを提案した。新H形試作素子の駆動と検出電極の入力インピーダンスの実験結果は有限要素法によるk^2の解析データと一致した。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-01-16
著者
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