有限要素法による単結晶音さ形圧電ジャイロ形状の検討 : 第1報
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概要
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本研究は、圧電ジャイロの重要課題である漏れ出力の要因を有限要素法による動作解 析により調査し、改善策を提案するものである。まずLiTaOs音さ形圧電ジャイロをとり上げ、直交する2つの振動モードを分析した。その結果、面垂直振動(fzモード)の振動変位が面内振動(fxモード)成分も有することが明らかになった。これは、漏れ出力となる不要な機械的な結合の原因である。この漏れ要因を除去するために、面内振動が存在しないように十分音さのベース部を長くして、そこにスリットを挿入したところ、面内振動成分が低減した。さらに、駆動モードである面内振動が存在しない部分に、検出用電極を配電することができるので、不要な電気機械結合も抑制できる。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-07-25
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