(フェロー招待講演)LiNbO_3およびLiTaO_3圧電単結晶を用いた電子機構デバイスの展望(フェロー記念講演・一般)
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概要
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圧電体としての電気機械結合係数の大きなニオブ酸リチューム(LiNbO_3)とタンタル酸リチューム(LiTaO_3)を利用した電子機構デバイスについて,研究開発の現状と将来展望を述べる。まず,圧電材料としての特長や研究開発の視点などを述べる。具体的なデバイスとしては,筆者がこれまで研究開発に携わった圧電バルク波デバイスとして,圧電振動子,圧電トランス,圧電ジヤイロや圧電アクチュエータなどを中心に取り上げる。
- 2003-01-10
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