新H形単結晶圧電ジャイロの高感度化の検討
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概要
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圧電ジャイロは、漏れ出力の低減と角速度検出感度の向上が課題である。LiTaO_3新H形圧電ジャイロは、漏れ出力を大幅に低減できる。この特徴を生かし、従来とは逆に駆動周波数を検出振動モードの共振周波数に設定した。さらに駆動モードをf_zモードに変更した。本条件でも、変換効率は低下するが、f_zモードのみを駆動できる。一方、検出モードは高Q値を利用でき、同一電圧駆動で、従来駆動法と同程度の感度が実現できる。単結晶圧電ジャイロの駆動電圧の上限値は, 機械的な応力による破壊で限定される。本駆動法は非共振駆動であり, 破壊限界電圧を一挙に三桁以上も向上でき、角速度感度を向上できる。130°回転y LiTaO_3板新H形圧電ジャイロの場合、共振周波数差が120Hz、駆動電圧が30Vppで、0.12pC/(deg/sec)という高い角速度感度を実現した。
- 1998-06-19
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