すべり波LiTaO_3振動子の粘度センサとしての可能性の検討
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概要
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粘性液体(粘度約10〜5000mPa・s)中での,すべり波振動子の応答特性をMHz帯で検討した.まず,すべり波LiTaO_3チップ型振動子を取り上げ,周波数,粒子速度による共振特性の変化を測定した.次に,ニュートン流体に対するずり波の理論と,等価回路解析を組み合わせた計算値を求め,実験値と比較した.さらに,4MHzの水晶AT-カット振動子及び,PZTのすべり波振動子の,粘性液体中での共振特性の変化をLiTaO_3振動子と比較した.
- 2002-09-13
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