高感度・漏れ出力低減を目指したLiTaO_3圧電ジャイロの実験的検討
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概要
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本研究は, 高感度・漏れ出力低減を目指した新H形LiTaO_3圧電ジャイロについて, これまでの有限要素法解析に基づく提案を実験的に確認したものである. 本構成は, 従来の音さ形振動子を対称に接続した構成である. LiTaO_3の大きな電気機械結合係数と電極配置の工夫により, 駆動f_x modeでは上部音さのみが振動する. 検出f_z modeでは上下の音さが共振するので, コリオリカにより上部に生じる振動を下部で検出できる構造となっている. 駆動, 検出のQ値は20000, 6000と従来の音さ形LTジャイロとほぼ同じであるが, 駆動の共振抵抗は5kΩと低い. 漏れ出力は, 漏れ調整なしで, 伝達関数として総合的に-86dB, Δ f=400Hzにおいて感度はf_d=14.9kHz, 1V_<rms>駆動でS=0.1lmV/(°/sec)と大きな値を示した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-07-04
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