圧電単結晶チップ形すべり波振動子の破壊限界の実験的検討
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概要
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圧電単結晶チップ形すべり波振動子(LiTaO_3、LiNbO_3)の電力限界に関する基礎的な調査を行った。大電圧を周波数スイープして印加し、共振周波数付近で多数個のサンプルを破壊した。その時の破壊限界を測定し、破壊原因の推定を実験的に確認した。大電流による破壊時に起こる発光現象を確認し、初期の破壊限界は応力による歪み破壊ではなく、発熱による焦電現象などに関係した破壊であることを確認した。また、焦電による電荷の蓄積を打ち消すため、サンプル表面に静電気防止剤を塗布し、塗布する前後で、破壊モードにどのような違いがでるのか実験した。その結果、静電気防止剤を塗布する前に比べ、塗布した後では破壊電圧及び電流が上昇し、サンプルが破壊されにくくなったことを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-01-22
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