ニオブ酸リチウム及びタンタル酸リチウム圧電単結晶を用いた電子機構デバイス
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概要
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圧電体としての電気機械結合係数の大きなニオブ酸リチウム(LiNb0_3)とタンタル酸リチウム(LiTaO_3)を利用した電子機構デバイスについて,研究開発の現状と将来展望を述べる.まず圧電材料としての特長や研究開発の視点などを述べる.具体的なデバイスとしては,筆者がこれまで研究開発に構わった圧電バルク波デバイスとして,圧電振動子,圧電トランス,圧電ジャイロや圧電アクチュエータなどを中心に取り上げる.結晶の特長を生かした設計手法と機能の特長を述べる.
- 2004-02-01
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