4脚音さ振動子とその振動ジャイロスコープへの応用
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概要
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圧電形振動ジャイロスコープとして使用される4脚音さ振動子を提案し, その振動モードと共振周波数に関する有限要素法解析結果並びに実験結果を示す. 本振動子には, 駆動用及び検出用として使用できる振動モードか存在し, これらは支持の影響が小さいことが分かった. 特に, 駆動モードでは内側のアーム対が不動となり, その設計条件も明らかになった. さらに, これらの振動モードを利用して, 振動ジャイロスコープとしての動作も確認された. 本振動子は4本の振動アームを有するので, これに起因した各種の特徴を有している. 即ち, 振動ジャイロスコープとしての駆動と検出かそれぞれ一対のアームを用いて行えるのでアーム上の電極配置か簡素となること, また内側アーム対で電気的に差動検出ができるので並追加速度の影響も小さくできることなどの長所が生まれ, 高性能振動ジャイロスコープとしての構成が期待できる.
- 1996-08-28
著者
-
工藤 すばる
石巻専修大学・理工
-
菅原 澄夫
石巻専修大学理工学部情報電子工学科
-
跡地 伸久
松下電子部品kk・開発技術セ
-
跡地 伸久
松下電子部品
-
村上 昌良
松下電子部品kk・開発技術セ
-
菅原 澄夫
石巻専修大
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