縦1次L1-屈曲2次F2の2重モード振動子を用いた圧電振動ジャイロ・センサ : 特性の実験的検討
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概要
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本文は、縦1次L1-屈曲2次F2の2重モード振動子を用いた圧電振動ジャイロ・センサ、特にその特性を実験的に検討した結果を報告するものである。本振動子で構成されるジャイロ・センサは、測定する角速度の回転軸に対し横置きで使用することを目的としたもので、デバイスの薄型化を期待しての構成である。また、本センサは形状が矩形板であるため製造が容易で安価となる特長を有する。本文では先ず初めにその基本構成原理を述べ、ついで圧電セラミクスと水晶で構成した試作・測定結果を示し、本文提案の圧電振動ジャイロ・センサの特性を提示する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-09-17
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