屈曲2重モード圧電セラミックス正方形板固定型のリニア・アクチュエータ

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概要

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• 1995-09-01

著者

• 高野 剛浩

  東北工業大学

• 富川 義朗

  山形大・工

• 高野 剛浩

  東北工大

• 小笠原 俊治

  山形大・工

• 矢吹 晃

  山形大・工

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