斜対称積層圧電振動子の縦1次-屈曲2次モードを利用した超音波モータの試作
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概要
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薄型超音波スピンドルモータ開発の一つとして、小入力駆動可能な積層圧電セラミック平板振動子を用いた超音波モータの試作特性例を示している.斜対称形の振動子を用いることにより、縦1次-屈曲2次モードの結合振動を利用した単相駆動モータを試作した.FEMによる振動モードの解析と測定結果との対応を示し、端面の振動速度の測定から、周波数の切り替えにより両方向回転のモータが得られることを示した.特に本報告では、振動子の特徴を生かした、振動子の支持冶具を提案し超音波モータを試作した。試作モータでは2〜3Vrms、100〜300mW程度の入力で、振動子長15mmで直径1.0mmφのロータを持つ構成では9,000rpmを越す速度が得られ、振動子長30mmで直径6mmのロータのモータでは、効率が45%を越す特性が得られた.
- 2009-09-22
著者
-
青柳 学
室蘭工業大学
-
高野 剛浩
東北工業大学
-
田村 英樹
東北工業大学
-
富川 義朗
山形大学工学部
-
田村 英樹
山形大学工学部
-
富川 義朗
山形大学
-
富川 義朗
山形大学・大学院理工学研究科・生体センシング機能工学専攻
-
青柳 学
室蘭工大院
-
田村 英樹
山形大学
-
Tomikawa Yoshiro
Yamagata Univ. Yamagata Jpn
-
Tomikawa Yoshiro
Faculty Of Eng. Yamagata Univ.
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