円環振動子を用いた超音波リニアモータの速度制御法の検討
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概要
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円環振動子は電極を2分割し,径方向伸縮振動モード((R,1)-mode)および非軸対称屈曲振動モード(((1,1))-mode)を同時に励振することができる.2つの振動モードを独立に調整することで超音波リニアモータの速度制御が容易になるが,この励振方法では各振動モードを独立に調整することは検討されていなかった.本研究では2つの電極に印加する電圧の位相差と振幅を変化させ,(R,1)-modeの実効的な励振電圧を一定にとしながら,((1,1))-modeの実効的励振電圧を直線的に調整し,スライダの速度を位相差によって直線的に制御するための変位の独立励振が可能であることを報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-09-20
著者
-
青柳 学
室蘭工業大学
-
高野 剛浩
東北工業大学
-
田村 英樹
東北工業大学
-
富川 義朗
山形大学工学部
-
田村 英樹
山形大学工学部
-
富川 義朗
山形大学
-
広瀬 精二
山形大学工学部
-
広瀬 精二
山形大・工
-
Tomikawa Yoshiro
Yamagata Univ. Yamagata Jpn
-
Tomikawa Yoshiro
Faculty Of Eng. Yamagata Univ.
-
広瀬 精二
山形大院
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