モード結合型LiNbO_3単相駆動超音波モータの振動子辺比による特性について
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概要
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圧電単結晶LiNbO_3を用いて、その結晶異方性による内部結合を用いることで単相駆動超音波モータが実現出来る。これまでは矩形板振動子の面内縦一次と屈曲二次振動の結合を得る為に縦横長さの辺比0.255付近の条件を用いていたが、二つの結合モードの振動特性ならびにモータの左右回転特性の差が大きいという問題があった。今回新たに、モード結合可能なもう一つの辺比0.8付近の条件について解析ならびにモータの試作評価を行った。これにより、電気機械結合係数の均等化などの振動子特性の改善が図られた。また辺比0.849の短辺中央でロータを駆動する構成の試作モータは、従来条件と比べて広い与圧範囲で左右回転特性を近づける事が出来た。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-09-22
著者
-
青柳 学
室蘭工業大学
-
高野 剛浩
東北工業大学
-
田村 英樹
東北工業大学
-
田村 英樹
山形大学工学部
-
山吉 康弘
山形大学工学部電気電子工学科
-
広瀬 精二
山形大学工学部
-
青柳 学
室蘭工大院
-
広瀬 精二
山形大・工
-
田村 英樹
山形大学
-
山吉 康弘
山形大工
-
広瀬 精二
山形大院
-
山吉 康弘
山形大院
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