LiNbO_3矩形板振動子による単相駆動超音波モータ : 結晶異方性によるモード結合の利用
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概要
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非鉛圧電材を利用した超音波モータの一つとして圧電単結晶LiNbO_3を用いた構成を研究している。小形で簡素な形状とし駆動方法についても単相駆動とするため、従来は圧電セラミックスによる構成と同様に振動子外形を斜対称とすることでモード結合を引き起こして利用していた。しかしながら斜対称構造振動子では加圧時に接触点がぶれやすい問題があり、また結晶特性を十分に生かしているとは言い難い。そこで本研究では振動子形状は対称な矩形板のまま、X回転Y板をさらに新たなy軸で回転させる事で結晶異方性を利用した結合モードを利用する。本方式について設計の為の解析ならびに実験的に得られたモータ特性を示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-09-20
著者
-
青柳 学
室蘭工業大学
-
高野 剛浩
東北工業大学
-
田村 英樹
東北工業大学
-
富川 義朗
山形大学工学部
-
田村 英樹
山形大学工学部
-
富川 義朗
山形大学
-
広瀬 精二
山形大学工学部
-
広瀬 精二
山形大・工
-
柴田 恭祐
山形大学工学部
-
Tomikawa Yoshiro
Yamagata Univ. Yamagata Jpn
-
Tomikawa Yoshiro
Faculty Of Eng. Yamagata Univ.
-
広瀬 精二
山形大院
-
柴田 恭祐
山形大・工
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