US2000-35 / EMD2000-31 / CPM2000-46 / OME2000-41 3脚音さ振動子・特性の有限要素法解析 : 縦1次-屈曲2次・面内モード利用構成の場合
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概要
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圧電振動子を利用したリニア・アクチュエータにおいて、振動子支持の不安定さが一つの問題となっている。そこで筆者らは、現在ジャイロセンサなどに利用され、低周波領域で良好な支持特性を有する3脚音さ圧電振動子のリニア・アクチュエータへの適用を考えた。すなわち、3脚音さ振動子の振動変位が小さい底部を利用するもので、リニア・スライダーへの押し付け機構をより安定化させることを目的とするものである。従って本文は、回転運動変位を形成する音さアームの縦1次-屈曲2次・面内モード利用構成における3脚音さ振動子特性を有限要素法解析により考察した結果を報告するものである。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-06-30
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