小さな動きと大きな動きの2つの動作機能を有する圧電リニア・モータ

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概要

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XYステージなどの精密位置決め装置ではリニア・アクチュエータ(モータ)が不可欠である。この場合、その用途によっては小さな動きと大きな動きの2つの動作機能が要求される。これは1個のリニア・モータを使用した場合でも入力信号の強弱でそのような動作を実現することは原理的には可能である。しかし、使い勝手の観点から動作特性の異なる2つの圧電リニア・モータを複合構成すれば、より充実した機能のリニア・モータが実現できる。筆者らはこのような新しい概念をもった圧電リニア・モータを考案し、実験的検討を行った。本文はその内2つ及び3つの積層圧電セラミックス・スタックと1つの圧電円板モータを使用した構成について報告する。
2001-09-19

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