段付片持ばりを用いた圧電型・パーツフィダーの自励振駆動

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概要

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• 1996-09-01

著者

• 高野 剛浩

  東北工業大学

• 富川 義朗

  山形大・工

• 高野 剛浩

  東北工大

• 大西 一正

  アルプス電気

• 大西 一正

  アルプス電気(株)磁気応用事業部

• 高橋 貞幸

  山形大・教

• 日下部 千春

  山形大・教

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