多重モード縮退型リング振動子を用いた2次元(x-y)移動アクチュエータ
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概要
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本論文では、多重モード縮退型リング振動子を用いた2次元(x-y)移動アクチュエータについて述べる。面垂直屈曲振動のB_<21>モードと面内伸び振動の(R-4)モードを組み合わせると2次元(x-y)移動アクチュエータを構成することができる。本文ではまず有限要素法解析により最適な形状を決定した。さらにこのアクチュエータの基本となる直線移動特性と回転動作特性を測定した。これらの測定結果より2次元(x-y)移動アクチュエータの構成が可能であることがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-21
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