中央部に円筒状突起を設けた屈曲B_<11>-B_<11'>モード円板を用いた超音波モータ
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概要
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本研究は中央に突起を有する屈曲B_<11>-B_<11'>モード(節円1、節直径1のモード)円板を用いた超音波モータに関するものである。すなわち、本超音波モータ円板振動子に円筒状の突起を設け、それを変位拡大機構として用いる構成である。本文では先ずその構成と動作原理を述べ、次いで有限要素法を用いたステータ振動子の振動解析結果を示す。さらにその結果をもとにしたモータの試作測定結果を報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-09-12
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