中央に円筒状突起を持つ屈曲B_<11>-B_<11'>モード円板を用いた超音波モータ

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概要

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• 2000-09-01

著者

• 高野 剛浩

  東北工業大学

• 富川 義朗

  山形大・工

• 高野 剛浩

  東北工大

• 菊地 実

  山形大学工学部電気電子工学科

• 菊地 実

  山形大・工

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