薄型高速回転型超音波モータ--圧電セラミックス・タイプの研究紹介 (特集 最近の超音波モータ・アクチュエータ)

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概要

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著者

• 青柳 学

  室蘭工業大学

• 高野 剛浩

  東北工業大学

• 青柳 学

  室蘭工大院

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