縦-屈曲モード・積層型矩形板圧電共振子利用の自励振・超音波モータ

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概要

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• 1999-03-01

著者

• 高野 剛浩

  東北工業大学

• 富川 義朗

  山形大・工

• 高野 剛浩

  東北工大

• 高橋 貞幸

  山形大・教

• 日下部 千春

  山形大・教

• 原 貴則

  山形大・教

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