積層圧電セラミックスを用いた斜対称平板振動子利用の超音波モータ
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概要
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低電圧、小入力駆動で高速回転超音波モータの実現を目指して、積層圧電セラミックス平板振動子を用いた超音波モータの試作特性例を示している.斜対称形の振動子を用いることにより、縦1次-屈曲2次モードの結合振動を利用した単相駆動モータを試作した.FEMによる振動モードの解析と測定結果との対応を示し、端面の振動速度の測定から、周波数の切り替えにより両方向回転のモータが得られることを示した.試作したモータは、3〜5Vrms、100〜500mW程度の入力で、直径1.5mmφのロータで5000rpmを越す速度が得られ、直径3mmのロータでは、効率が35%近い特性が得られた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-09-20
著者
-
青柳 学
室蘭工業大学
-
高野 剛浩
東北工業大学
-
田村 英樹
東北工業大学
-
富川 義朗
山形大学工学部
-
田村 英樹
山形大学工学部
-
富川 義朗
山形大学
-
Tomikawa Yoshiro
Yamagata Univ. Yamagata Jpn
-
Tomikawa Yoshiro
Faculty Of Eng. Yamagata Univ.
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