超音波加工 平板縦振動子を組合せた超音波リニアモータ
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概要
著者
-
青柳 学
室蘭工業大学
-
富川 義朗
山形大学工学部
-
富川 義朗
山形大学
-
Tomikawa Yoshiro
Yamagata Univ. Yamagata Jpn
-
Tomikawa Yoshiro
Faculty Of Eng. Yamagata Univ.
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