共振周波数変化を利用した平面型加速度センサについて
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概要
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- 2002-03-18
著者
-
富川 義朗
山形大学工学部
-
富川 義朗
山形大・工
-
高橋 淳
石巻専修大・理工
-
菅原 澄夫
石巻専修大学理工学部情報電子工学科
-
Tomikawa Yoshiro
Faculty Of Eng. Yamagata Univ.
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