三軸ジャイロのための三回対称形水晶振動子の検討
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概要
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モノリシック型三軸ジャイロ・センサの実現を目指し、複雑な形状もエッチングにより作成可能な水晶Z板を用いて、筆者らは素材の結晶対称性を考慮した三回対称形の振動子構成を提案している。しかしながら、従来提案の基本形振動子はエッチング残渣が検出軸に対する左右対称性を劣化させるために振動モードの結合が起こりやすく、加えて自励振駆動が困難な程に駆動抵抗が高いと言った問題があった。そこでエッチング残渣も左右対称に生じるようにし、さらに駆動梁に穿孔を施した改良型構造を設計した。試作振動子の駆動モードに関する電気的特性を測定したところ、改良型の等価抵抗は従来型に比べて約1/49に低下する結果となり、対称性が高く発振の容易な新型構成が得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-09-14
著者
-
田村 英樹
東北工業大学
-
富川 義朗
山形大学工学部
-
田村 英樹
山形大学工学部
-
富川 義朗
山形大学
-
広瀬 精二
山形大学工学部
-
Tomikawa Yoshiro
Yamagata Univ. Yamagata Jpn
-
Tomikawa Yoshiro
Faculty Of Eng. Yamagata Univ.
-
広瀬 精二
山形大院
-
曽根田 敏昭
山形大学工学部
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