OD3 同形縮退2重モード屈曲円板を用いた振動ジャイロ・センサ(バルク波デバイス)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 1997-11-12
著者
-
田村 英樹
東北工業大学
-
富川 義朗
山形大学・大学院理工学研究科・生体センシング機能工学専攻
-
田村 英樹
山形大学・工
-
菅原 澄夫
石巻専修大学理工学部情報電子工学科
-
菊池 尊行
日本ガイシ(株)
-
菅原 澄夫
石巻専修大
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