C-4 屈曲振動子のモーメント付加特性を応用した傾斜角センサ(バルク波・表面波デバイス)
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概要
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- 2003-11-12
著者
-
富川 義朗
山形大学工学部
-
富川 義朗
山形大工
-
Tomikawa Yoshiro
Yamagata Univ. Yamagata Jpn
-
Tomikawa Yoshiro
Faculty Of Eng. Yamagata Univ.
-
佐藤 妙子
山形大工
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