Improvement of a One-Chip-Style Quartz Crystal Motion Sensor for Detection of Angular Velocity and Acceleration
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 2002-05-30
著者
-
富川 義朗
山形大学工学部
-
Tomikawa Yoshiro
Faculty Of Eng. Yamagata Univ.
-
Kudo S
Industrial Research Institute Of Nagano Prefecture
-
KOITABASHI Tatsuo
Industrial Research Institute of Nagano Prefecture
-
KUDO Seiichi
Industrial Research Institute of Nagano Prefecture
-
OKADA Shigeya
MicroStone Co., Ltd.
-
TOMIKAWA Yoshiro
Graduate Program of Human Sensing and Functional Sensor Engineering Yamagata University
-
Koitabashti Tatsuo
Industrial Research Institute Of Nagano Prefecture:graduate Program Of Human Sensing And Functional
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