B-5 非軸対称振動圧電セラミック孔あき円板を用いた超音波モーター(ポスターセッション)

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概要

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• 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
• 1988-12-07

著者

• 富川 義朗

  山形大・工

• 高野 剛浩

  東北工大

• 平田 拓

  東工大・精研

• 小笠原 俊治

  山形大・工

• 平田 拓

  山形大・工

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