B-6 周波数変化型単結晶シリコン2軸加速度センサの構成(バルク波デバイス)
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概要
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The construction of the frequency-change-type single crystal silicon 2-axis acceleration sensor is proposed and designed by the finite element method. The sensor element is composed of the two developed flexural vibrators, mass and support bars. The volume is about 4.0×4.2×0.5 mm^3. The 1st out-of-plane mode is used in the vibrator. The resonance frequency of the vibrator is 80.834 kHz. The analyzed relationship between the applied acceleration and the resonance frequency change becomes linear in this sensor element. The sensor sensitivity of approximately 468 ppm/G is realized. When the acceleration is applied, the motion of mass is linear along the x and y axes respectively. As a future subject, the sensor sensitivity should be improved by using a bent type support bar.
- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 2006-11-15
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