サイドウォールNOアニールによる0.18μmCMOSの信頼性向上
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-03-06
著者
-
助川 和雄
富士通株式会社
-
助川 和雄
富士通
-
渡辺 孔
富士通(株)ULSI開発部
-
中西 俊郎
富士通研究所
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田村 泰之
富士通研究所
-
大久保 聡
富士通研究所
-
高崎 金剛
富士通研究所
-
鷹尾 泰弘
富士通
-
渡辺 孔
富士通
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