酸窒化技術を使った高性能・高信頼の Deep Sub-micron CMOS-FET
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概要
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- 1999-06-10
著者
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福田 哲生
富士通(株)
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東 雅彦
富士通(株)
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中西 俊郎
富士通研究所
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滋野 真弓
株式会社富士通研究所
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入野 清
富士通研究所
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田村 泰之
富士通研究所
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大久保 聡
富士通研究所
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滋野 真弓
富士通研究所
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日数谷 健一
富士通(株)
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高崎 金剛
富士通研究所
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