自然酸化膜をUV/O_3処理することによる薄いゲート酸化膜の高品質化
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概要
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- 1995-05-25
著者
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中西 俊郎
富士通研究所
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田村 泰之
富士通研究所
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大久保 聡
富士通研究所
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高崎 金剛
富士通研究所
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大久保 聡
(株)富士通研究所
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田村 泰之
(株)富士通研究所
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杉野 林志
(株)富士通研究所
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中西 俊郎
(株)富士通研究所
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高崎 金剛
(株)富士通研究所
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杉野 林志
スパンション株式会社:東北大学大学院工学研究科
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杉野 林志
富士通研
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