高崎 金剛 | (株)富士通研究所

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概要

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• 高崎 金剛

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• 中西 俊郎

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• 田村 泰之

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• 杉野 林志

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• 杉野 林志

  スパンション株式会社:東北大学大学院工学研究科

• 杉野 林志

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著作論文

• 自然酸化膜をUV/O_3処理することによる薄いゲート酸化膜の高品質化
• シリコンウエハ表面付着物の構造依存性

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