感光性BCBを用いた3次元MMIC配線プロセス技術
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-03-06
著者
-
西川 健二郎
日本電信電話株式会社
-
平野 真
Nttシステムエレクトロニクス研究所
-
活田 健治
Nttシステムエレクトロニクス研究所
-
西川 健二郎
NTTワイヤレスシステム研究所
-
小野寺 清光
NTTシステムエレクトロニクス研究所
-
鴨川 健司
NTTドコモ株式会社
-
小野寺 清光
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
鴨川 健司
NTTワイヤレスシステム研究所
-
井上 考
NTTシステムエレクトロニクス研究所
-
井上 考
Ntt
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