準分布定数型TFMSを用いた3次元MMIC超小型ハイブリッド回路
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概要
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従来のMMICにおいては, 90℃ハイブリッド回路はチップ上で大きな面積を占める.ここでは, 「準分布定数型TFMS線路」(QD-TFMS:Quasi Distributed TFMS)を用いた超小型ハイブリッド回路を提案する.この「準分布定数型TFMS線路」は, 3次元MMICのトポロジーを積極的に活用して, 高インピーダンスのTFMS線路に多数のMIMキャパシタを装荷した構造である.この構造を用いることで, 従来のハイブリッド回路よりも面積比で約1/80の小型化を実現した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-11-09
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