2次元グレーティングスケール変位計測用光集積ヘッド
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概要
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2次元変位を計測するため、2つの互いに独立な光学干渉計を構成する光集積ヘッドを提案し、基本動作を実証している。デバイスは、Si基板ガラス導波路に4つの斜め出射線集光グレーティングカップラ(LFGC)およびフォトダイオード(PD)をモノリシックに集積しており、2つの直交するグレーティングベクトルをもつグレーティングスケール(GS)の変位を計測する。実際にデバイスを設計、作製し、格子状凹凸を有する反射型GSを用いて変位測定を行なっている。GSの面内方向の2次元変位に対して、各PD出力電流が独立に周期的変化し、その1周期がGS周期の半分の1.6μmに対応することを確認している。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-01-21
著者
-
栖原 敏明
大阪大学大学院工学研究科
-
栖原 敏明
大阪大学工学研究科電子工学専攻
-
西原 浩
大阪大学工学部電子工学科
-
西原 浩
大阪大学工学研究科
-
遠藤 敏朗
大阪大学工学部電子工学科
-
裏 升吾
大阪大学工学部電子工学科
-
栖原 敏明
大阪大学工学研究科
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