グレーティング素子と量子井戸レーザを用いたモノリシック光集積センサ
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概要
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導波路型グレーティング素子を量子井戸レーザとモノリシックに集積化することにより, 種々の超小型・高性能デバイスの実現が可能となる。分布屈折率分離閉込め単一量子井戸DFBレーザは波長安定性に優れ, 無秩序化による低損失受動導波路形成が可能なため, この種の集積化に適している。我々は1チップで完全に機能する光集積回路の例としてモノリシック光集積位置/変位センサとモノリシック光集積ディスクピックアップを取り上げ, 設計, 作製およびその評価を行った。前者で周期0.43μmの光電流変化が得られ, 1チップで完全に機能するモノリシック光集積センサの実現に成功した。
- 1998-01-25
著者
-
西原 浩
大阪大学
-
飯尾 晋司
横河電機
-
上向井 正裕
大阪大学大学院工学研究科
-
栖原 敏明
大阪大学大学院工学研究科
-
西原 浩
阪大工
-
末広 雅幸
横河電機(株)
-
飯尾 晋司
横河電機(株)
-
飯尾 晋司
横河電機株式会社
-
栖原 敏明
大阪大学工学研究科電子工学専攻
-
西原 浩
大阪大学工学部電子工学科
-
吉本 亮裕
大阪大学工学部電子工学科
-
平田 隆昭
横河電機株式会社技術開発本部
-
西原 浩
大阪大学工学研究科
-
平田 隆昭
横河電機
-
上向井 正裕
大阪大学工学部電子工学科
-
谷口 健博
大阪大学工学部電子工学科
-
末広 雅幸
横河電機株式会社光デバイス研究室
-
栖原 敏明
大阪大学工学研究科
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