線集光グレーティングカプラを用いた光集積変位センサ
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概要
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グレーティングスケール(GS)変位を計測する光集積センサを提案し,検討している.光集積センサは1対の線集光グレーティングカプラ(LFGC)および1対のホトダイオード(PD)をSi基板ガラス導波路に集積して構成される.LFGCによりデバイスから放射された二つのビームはGS上で互いに重なり,GSの回折によりPD上で干渉する.干渉光強度の変化からGS変位がわかる.デバイスを設計,作製し,PD出力信号のGS変位による周期的変化を確認している.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-05-25
著者
-
西原 浩
大阪大学
-
栖原 敏明
大阪大学大学院工学研究科
-
栖原 敏明
大阪大学工学研究科電子工学専攻
-
西原 浩
大阪大学工学部電子工学科
-
西原 浩
大阪大学工学研究科
-
遠藤 敏朗
大阪大学工学部電子工学科
-
裏 升吾
大阪大学工学部電子工学科
-
篠原 正幸
大阪大学工学部電子工学科
-
栖原 敏明
大阪大学工学研究科
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