3次グレーティングカップラの高効率化の基礎検討
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概要
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グレーティングの高次回折を利用して、導波光を空間放射光に高効率で結合させるためには、低次回折光や基板側放射光への結合の効率低減が不可欠である。そこで基板と導波路の間に反射層を挿入する方法を検討した。このような構造では、反射による干渉が生じ、導波光の各回折光への結合効率は電波路構成層厚に大きく依存する。3次回折により導波光を空気側にほぼ垂直に出射するグレーテイングカップラを設計した。波長0.82μm、金薄膜反射層を導入したガラス電波路を用いた。周期1.86μm、出射角は9゜で、理論結合効率は59%である。素子を作製し、出力結合効率40%が得られた。
- 1996-01-18
著者
-
西原 浩
大阪大学
-
栖原 敏明
大阪大学大学院工学研究科
-
西原 浩
大阪大学 工学部
-
藤井 孝佳
大阪大学 工学部 電子工学科
-
裹 升吾
大阪大学 工学部 電子工学科
-
栖原 敏明
大阪大学 工学部 電子工学科
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