グレーティング素子と量子井戸レーザを用いたモノリシック光集積センサ
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概要
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導波路型グレーティング素子を量子井戸レーザとモノリシックに集積化すれば、超小型・高性能デバイスの実現が可能となる。分布屈折率分離閉じ込め(GRIN-SCH) SQW DFBレーザは波長安定性に優れ、無秩序化による低損失受動導波路形成が可能なため、こういった集積化に適している。我々は1チップで完全に機能する光集積回路の実現に向け、グレーティング素子と量子井戸レーザをモノリシックに集積したデバイスの検討を行った。その例としてモノリシック光集積位置/変位センサとモノリシック光集積ディスクピックアップを取り上げ、これらの設計、作製及び評価を行い、前者でセンサ機能が得られることを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-12-08
著者
-
西原 浩
大阪大学
-
平田 隆昭
横河電機(株)
-
飯尾 晋司
横河電機
-
上向井 正裕
大阪大学大学院工学研究科
-
栖原 敏明
大阪大学大学院工学研究科
-
末広 雅幸
横河電機(株)
-
飯尾 晋司
横河電機(株)
-
栖原 敏明
大阪大学工学研究科電子工学専攻
-
西原 浩
大阪大学工学部電子工学科
-
吉本 亮裕
大阪大学工学部電子工学科
-
西原 浩
大阪大学工学研究科
-
平田 隆昭
横河電機
-
上向井 正裕
大阪大学工学部電子工学科
-
谷口 健博
大阪大学工学部電子工学科
-
栖原 敏明
大阪大学工学研究科
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