AlGaAs GRIN-SCH導波路におけるグレーティング素子の設計と集積化
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概要
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グレーティング素子と優れた波長安定性を有する分離閉じ込め(GRIN-SCH)SQWDFBレーザをモノリシック集積化した干渉型光集積位置センサの実現に向けて基礎検討を行なった。先ず、AlGaAs GRIN-SCH導波路における導波モード及び放射モードのモードプロファイルを求め、位置センサを構成する集光グレーティングカップラ(FGC)、グレーティングビームスプリッタ(GBS)、DBRの3種類のグレーティング素子を、モード結合理論を用いて最適設計を行なった。設計結果に基づいて3種類のグレーティング素子を集積化したデバイスを作製し、基礎実験を行なった。その結果、この集積化デバイスのうち、FGCとGBSの機能を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-12-14
著者
-
西原 浩
大阪大学
-
飯尾 晋司
横河電機
-
上向井 正裕
大阪大学大学院工学研究科
-
栖原 敏明
大阪大学大学院工学研究科
-
飯尾 晋司
横河電機(株)
-
栖原 敏明
大阪大学工学研究科電子工学専攻
-
西原 浩
大阪大学工学部電子工学科
-
西原 浩
大阪大学工学研究科
-
平田 隆昭
横河電機
-
上向井 正裕
大阪大学工学部電子工学科
-
谷口 健博
大阪大学工学部電子工学科
-
平田 隆昭
横河電機デバイス研究所
-
飯尾 晋司
横河電機デバイス研究所
-
栖原 敏明
大阪大学工学研究科
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