電圧印加によるLiNbO_3SHGデバイス用分極反転グレーティングの作製
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概要
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小型短波長コヒーレント光源実現のため,LiNbO_3導波路形擬似位相整合光第2高調波発生デバイスの開発が期待されている.このデバイス実現のためには分極反転グレーティングの作製が重要である.我々はz板LiNbO_3結晶(0.5mm厚)の表面近傍に約3μm周期のグレーティングを電圧印加により作製することを検討した.周期電極構造として梯子電極と,新たに波板電極を検討した.周期電極下に誘起される電界のz方向成分分布を理論計算により求め,グレーティング作製に有効な周期電極形状を明らかにした.実験的検討により分極反転は+z側から起こり易く,電流制限したパルス電圧(〜10kV,幅1〜40msec)の印加が有効で,電流制限値とパルス幅を適切な値にしたとき電極下全体でほぼ均一に分極反転グレーティングが作製できることを見いだした.真空中で梯子電極(電極指幅, 周期〜0.2)を用いたとき,及び絶縁性オイル中で波板電極を用いたとき,周期電極下に反転幅:非反転幅が1:1に近く導波路作製断面内で一様な,デバイスに適した構造が作製できた.
- 1994-10-12
著者
-
西原 浩
大阪大学
-
栖原 敏明
大阪大学大学院工学研究科
-
栖原 敏明
大阪大学工学研究科電子工学専攻
-
西原 浩
大阪大学工学研究科
-
藤村 昌寿
大阪大学工学部電子工学科
-
藤村 昌寿
大阪大学大学院 工学研究科電気電子情報工学専攻
-
金高 健二
大阪大学工学部電子工学科
-
藤村 昌寿
大阪大学工学研究科
-
栖原 敏明
大阪大学工学研究科
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