微小電子源を用いて発生したスミス-パセル光の自動走査計測
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概要
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微小電子源を陰極として生成した電子ビームを回折格子表面に沿って伝搬させ、350-750nmの波長範囲の光を発生させた。電子銃の長さは5cmで、陽極に設けたスリットの背後にピッチ0.556μm、ブレーズ角30°の回折格子を設置した。電子ビームのエネルギーと電流の最高値は60keVおよび25μAであった。放射光のスペクトル特性を詳細に調べる為、分光器の設定波長をステッピングモーターで掃引し、A/D変換した光電子増倍管出力をパソコンに取り込んで処理した。光は電子ビーム・エネルギー15-60keVの全領域で検出され、光の波長はスミス-パセル放射理論と良く一致した。最近、微小電子源をYAGレーザーの2倍高調波で照射して放出電流値の変化を調べる実験を始めたので、その現状についても紹介する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-12-08
著者
-
嶋脇 秀隆
八戸工業大学大学院工学研究科
-
横尾 邦義
東北大学電気通信研究所
-
細野 彰彦
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
河村 良行
福岡工業大学工学部知能機械工学科
-
石塚 浩
福岡工業大学工学部
-
嶋脇 秀隆
東北大学電気通信研究所
-
横尾 邦義
株式会社イデアルスター
-
河村 良行
福工大
-
嶋脇 秀隆
八戸工業大学工学部
-
河村 良行
福岡工業大学工学部
-
横尾 那義
東北大通研
-
河村 良行
福岡工業大学
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