非点収差法を用いた3軸変位測定法の研究(G10-5 計測・制御,G10 機械力学・計測制御部門)
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概要
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We have developed optical 3-axis displacement measuring method, which use of astigmatism for the depth directional measurement. The resolution in the vertical plane was high, while that along to the optical axis was low. We are going to apply the method to the Magnetic Suspension and Balance System
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-09-04
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