紫外・赤外パルスレーザーを用いた微小立体加工(S55-2 レーザ加工(2),S55 レーザ加工)
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概要
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In this study, three-dimensional microstructures are manufactured using a laser micro machining system, which consists of an ultraviolet pulsed laser and a stage having five degree of freedom. The works are controlled to move by the five-axis micro machining system to an arbitrary position, and three-dimensional microstructures can be manufactured. In order to try to improve the laser machining characteristics, we have modified the optical system in order to irradiated materials with fourth harmonics and fundamentals of an Nd-YAG laser, simultaneously. We investigated machining characteristics of simultaneous irradiation method in many test specimens.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-09-04
著者
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