カーボンナノチューブ電子源の開発(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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薄型大画面で低消費電力・高画質が期待できるFED(Field Emission Display)用の電子源として、カーボンナノチューブ(CNT)を用いたカソードの開発を行っている。印別法で形成されたCNTカソードの電子放出特性および発光均一性の改善を行うためにレーザによる表面処理について検討した。その結果、パターン化されたレーザ光を用いた場合には、CNTがレーザパターン境界に沿って突出し、レーザ照射パターンの総境界長が増大するとともにエミッション特性が改善され、ばらつきも低下することが判明した。また、種々のレーザを用いて検討した結果、突出したCNT高さが高くなるほどエミッション特性が改善し、ばらつきも低下することが分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-12-10
著者
-
白石 哲也
三菱電機株式会社先端技術総合研究所fedプロジェクトグループ
-
中田 修平
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
細野 彰彦
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
奥田 荘一郎
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
渡辺 昭裕
三菱電機株式会社応用機器研究所
-
渡辺 昭裕
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
瀋 智英
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
阿部 文夫
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
奥田 荘一郎
三菱電機株式会社先端技術総合研究所fedプロジェクトグループ
-
奥田 荘一郎
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所 表示デバイス技術部
-
中田 修平
三菱電機株式会社先端技術総合研究所fedプロジェクトグループ
-
中田 修平
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所 Fedプロジェクトグループ
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